Меню
Электронные Книги:
Журналы
Аудиокниги
Самое интересное

Микролитография

Категория: Учебные пособия

 (голосов: 0)
Date Дата: 27 мая 2012 | Смотрели Микролитография Просмотров: 678
Микролитография

Книга крупного американского специалиста по сути представляет собой энциклопедию, посвященную микролитографии, материалам для полупроводниковой технологии и вспомогательным технологическим операциям. В 1-й части рассматриваются различные виды резистов, методы их нанесения, сушки, экспонирования, травления, а также процессы рентгеновской, ионно-лучевой, электронно-лучевой и фотолитографии. Во 2-й части рассматриваются процессы обработки экспонированных резистных структур: проявление, задубливание, травление, методы и возможности безрезистной технологии, методы контроля технологических процессов. Для специалистов по технологии микроэлектроники, студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специальностей.
Название: Микролитография
Автор: Моро У.
Издательство: Мир
Год: 1990
Страниц: 1237
Формат: pdf
Размер: 85 Мб
Язык: русский
Качество: хорошее
Купить/скачать книгу Микролитография


Уважаемые посетители, если вы хотите скачать Микролитография и не видите ссылок, то скорее всего наши партнёры(литрес) их не предоставили. Можем предложить купить данное издание.

Книги из категории Учебные пособия:



Бизнес-процессы. Основные понятия. Теория. Методы. Бизнес-процессы. Основные понятия. Теория. Методы.

Новые материалы и технологии. Экстремальные технологические процессы Новые материалы и технологии. Экстремальные технологические процессы
Монография, обобщающая результаты работ по программе "Сибирь" (разд. "Новые материалы и технологии"), издана в трех книгах. В первой из них изложены перспективы развития методов получения дисперсных материалов, синтеза ультрадисперсных порошков тугоп ... Читать

Энерготехнологический анализ процессов в технологии цементного клинкера Энерготехнологический анализ процессов в технологии цементного клинкера
В монографии в качестве практической реализации методологии системного анализа рассмотрены методы теплотехнического и термодинамического анализа процессов получения цементного клинкера; моделирование и интенсификация теплообмена в высокотемпературных ... Читать

Методы возмущений Методы возмущений
В книге элементарно и на современном уровне описываются методы малого параметра в применении к широкому кругу задач механики и математической физики. Наряду с классическими методами в ней рассматриваются и оригинальные, разработанные автором. Многоч ... Читать

Унгер П. - Технология горячеканального литья Унгер П. - Технология горячеканального литья
Книга является практическим руководством по технологии горячеканального литья и принципам выбора горячеканальных литниковых систем (ГКС). Рассматриваются методы измерения и контроля основных технологических параметров, а также факторы, влияющие на эф ... Читать

А.М. Гаджинский. Современный склад. Организация, технологии, управление и л ... А.М. Гаджинский. Современный склад. Организация, технологии, управление и л ...
В пособии рассмотрены основные вопросы и рекомендации по организации складского хозяйства в современных условиях: виды и функции складов, определение оптимального количества складов и мест их расположения, методы оптимизации складских процессов, виды ... Читать

Статистическая термодинамика неравновесных процессов Статистическая термодинамика неравновесных процессов
В книге американского автора дается систематическое изложение классической статистической термодинамики. Приводятся как общие результаты, так и приложения теории к конкретным вопросам гидродинамики, химической термодинамики и электрохимии; в частност ... Читать

re...
Добавление коментария
Ваше Имя:
Код: Включите эту картинку для отображения кода безопасности
обновить если не виден код
Введите код



Кабинет
Ты не поверишь!